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原文传递用于小角X射线散射测量的X射线检测光学器件

专利名称：	用于小角X射线散射测量的X射线检测光学器件
摘要：	本申请涉及用于小角X射线散射测量的X射线检测光学器件。X射线装置包括支架、X射线源、检测器、致动器和控制器。支架被配置为保持样本。X射线源被配置成朝着样本的第一侧引导X射线的波束。检测器被定位于样本的与第一侧相对的第二侧上，以便接收透射穿过样本的X射线的至少一部分，并输出指示接收到的X射线的强度的信号。致动器被配置成在样本的第二侧上的一定范围的位置上扫描检测器，以便根据散射角来测量透射的X射线。控制器被耦合以接收由检测器输出的信号，并响应于信号而控制致动器，以便相对于检测器在接收到的X射线的强度是强的第二位置处的获取时间来增加检测器在接收到的X射线的强度是弱的第一位置处的获取时间。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	以色列;IL
申请人：	布鲁克杰维以色列公司
发明人：	马修·沃明顿;亚瑟·佩莱德;亚历山大·克罗赫马尔
专利状态：	有效
申请日期：	2019-04-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201910330448.2
公开号：	CN110398506A
代理机构：	北京安信方达知识产权代理有限公司
代理人：	王红英;杨明钊
分类号：	G01N23/20008(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	以色列米格达勒埃梅克
主权项：	1.一种X射线装置，包括：支架，所述支架被配置为保持样本； X射线源，所述X射线源被配置成朝着所述样本的第一侧引导X射线的波束；检测器，所述检测器被定位于所述样本的与所述第一侧相对的第二侧上，以便接收透射穿过所述样本的所述X射线的至少一部分，并输出指示接收到的X射线的强度的信号；致动器，所述致动器被配置成在所述样本的所述第二侧上的一定范围的位置上扫描所述检测器，以便根据散射角来测量透射的X射线；以及控制器，所述控制器被耦合以接收由所述检测器输出的信号，并响应于所述信号而控制所述致动器，以便相对于所述检测器在接收到的X射线的强度是强的第二位置处的获取时间来增加所述检测器在接收到的X射线的强度是弱的第一位置处的获取时间。 2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述检测器包括具有预定间距的传感器元件的阵列，并且其中，所述致动器被配置成以比所述预定间距更精细的分辨率使所述检测器在整个所述范围的位置上步进。 3.根据权利要求2所述的装置，其中，所述阵列包括所述传感器元件的二维矩阵，并且所述致动器被配置成以比沿着所述矩阵的高度轴和宽度轴二者的间距更精细的分辨率使所述检测器步进。 4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述样本包括具有大于10的纵横比的一个或更多个高纵横比(HAR)特征，并且其中，所述致动器被配置为在所述范围的位置上扫描所述检测器，以便测量从所述HAR特征散射的透射的X射线。 5.根据权利要求1所述的装置，其中，所述控制器被配置成控制获取时间，使得所述检测器在所述第一位置和所述第二位置处接收预定强度范围。 6.一种方法，包括：将样本保持在支架上；朝着所述样本的第一侧引导X射线的波束；从被定位于所述样本的与所述第一侧相对的第二侧上的检测器接收透射穿过所述样本的所述X射线的至少一部分，并且输出指示接收到的X射线的强度的信号；由致动器在所述样本的第二侧上的一定范围的位置上扫描所述检测器，以便根据散射角来测量透射的X射线；以及接收由所述检测器输出的信号，以及响应于所述信号而控制所述致动器，以便相对于所述检测器在接收到的X射线的强度是强的第二位置处的获取时间来增加所述检测器在接收到的X射线的强度是弱的第一位置处的获取时间。 7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述检测器包括具有预定间距的传感器元件的阵列，以及其中，扫描所述检测器包括以比所述预定间距更精细的分辨率使所述检测器在整个所述范围的位置上步进。 8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述阵列包括所述传感器元件的二维矩阵，以及扫描所述检测器包括以比沿着所述矩阵的高度轴和宽度轴的间距更精细的分辨率使所述检测器步进。 9.根据权利要求6所述的方法，其中，所述样本包括具有大于10的纵横比的一个或更多个高纵横比(HAR)特征，以及通过在所述范围的位置上扫描所述检测器来测量从所述HAR特征散射的透射的X射线。 10.根据权利要求6所述的方法，其中，控制所述致动器包括控制获取时间，使得所述检测器在所述第一位置和所述第二位置处接收预定强度范围。 11.一种X射线装置，包括：第一支架，所述第一支架被配置为保持样本； X射线源，所述X射线源被配置成朝着所述样本引导X射线的波束；检测器，所述检测器被定位成接收透射穿过所述样本的所述X射线，其中，所透射的波束的至少一部分在一定范围的角度上从所述样本散射；以及波束阻挡器，所述波束阻挡器包括由对所述X射线透明的材料和一片或更多片X射线不透明材料制成的第二支架，所述X射线不透明材料被保持在所述第二支架内，并且所述波束阻挡器能够定位成使得所述X射线不透明材料阻挡在所述范围的角度的一部分中的所述X射线，同时所述X射线在围绕所述范围的被阻挡部分的角度下穿过所述支架到达所述检测器。 12.根据权利要求11所述的装置，其中，至少一片所述X射线不透明材料是椭圆形的。 13.根据权利要求11所述的装置，其中，所述支架包括聚合物。 14.根据权利要求11所述的装置，其中，所述支架包括金刚石。 15.根据权利要求11所述的装置，其中，被阻挡的X射线的至少一部分包括透射穿过所述样本而未被散射的X射线。 16.根据权利要求11所述的装置，且包括处理器，所述处理器被配置成测量由所述检测器接收的所述X射线的强度，并响应于所测量的强度相对于所透射的波束来定位所述波束阻挡器。 17.根据权利要求11所述的装置，其中，至少一片所述X射线不透明材料被保持在所述支架的凹部内。 18.根据权利要求11所述的装置，其中，所述支架包括由(i)双轴定向的聚对苯二甲酸乙二酯(BoPET)聚酯或(ii)聚(4,4'-氧二亚苯基-均苯四甲酰亚胺)聚酰亚胺制成的片材。 19.根据权利要求11所述的装置，其中，至少一片所述X射线不透明材料包括金、钽或钨。 20.根据权利要求11所述的装置，其中，所述X射线不透明材料的片包括具有不同的尺寸并且以相对于彼此的预定距离布置在阵列中的至少第一片和第二片。
所属类别：	发明专利