原文传递
检查暴露样品的设备和方法，排出工位和处理片状元件的机器
| 专利名称： | 检查暴露样品的设备和方法，排出工位和处理片状元件的机器 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于检查用于处理片状元件的机器（1）的暴露样品（P）的检查设备（26），处理机器（1）包括多个工位（300，400，500，600），所述多个工位包括至少一个包括清除垫（93；94）的废料清除工位（600），检查设备（6）的特征在于，其包括配置为确定位于清除垫（93；94）上的暴露样品（P）的质量缺陷的光学监视设备（7）。本发明还涉及一种废料清除工位（600），一种用于处理片状元件的机器（1）以及一种暴露样品的质量控制方法。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 瑞士;CH |
| 申请人： | 鲍勃斯脱梅克斯股份有限公司 |
| 发明人： | P·沙特里 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2018-04-09T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-06T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201880026270.6 |
| 公开号： | CN110546095A |
| 代理机构： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 贺征华 |
| 分类号： | B65H29/58(2006.01);B;B65;B65H;B65H29 |
| 申请人地址： | 瑞士梅克斯 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
