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一种触摸屏ITO膜不平度缺陷检测装置
| 专利名称： | 一种触摸屏ITO膜不平度缺陷检测装置 |
| 摘要： | 本发明涉及一种触摸屏ITO膜不平度缺陷检测装置，包括光源发生器、缺陷探测判别器和用于放置被测对象的检测平台，所述光源发生器包括第一壳体、顺序设置于第一壳体内的窄带光源、准直器、起偏器和相位延迟器，窄带光源发出光束，准直器、起偏器和相位延迟器分别用于对光束进行准直、起偏和相位延迟，输出椭圆偏振光到被测对象上；所述缺陷探测判别器包括第二壳体、顺序设置于第二壳体内的检偏器、成像镜头和探测器，检偏器用于接收反射光信号，成像镜头用于将信号传递给探测器靶面，探测器用于将信号传递给信号处理器。本发明将触摸屏ITO膜不平度缺陷转化为光学图像，将缺陷细节放大且图像对比度高，能有效提高缺陷的识别效率。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 南京先进激光技术研究院 |
| 发明人： | 曾爱军 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-09-12T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-10T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910865338.6 |
| 公开号： | CN110554048A |
| 代理机构： | 南京睿之博知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 徐晓鹭 |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 210038 江苏省南京市栖霞区经济技术开发区恒园路1号 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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