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具有整体阀联结器的超高纯度气体分配部件及其应用方法
| 专利名称： | 具有整体阀联结器的超高纯度气体分配部件及其应用方法 |
| 摘要： | 阀联结器和气体加工部件特别适合半导体生产中使用的超高纯度气体分配。在联结器中，阀杆／外圆角密封紧邻联结器外侧的联结器孔，这样，只有极小部分的联结器的湿润表面被暴露至外部环境中。气体加工零件(如过滤器，或整个整体的气体棒组件，可被这些阀联结器在其入口和出口两侧密封地与外部环境隔绝。结果，整个装置能在生产之后加以净化，并在运输和安装期间，保持在可控环境之中，减少安装后所需的净化。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 空气设备公司 |
| 发明人： | 布赖斯·埃瓦茨; 海伦·E·丽本 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 1997-02-21T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN97100764.0 |
| 公开号： | CN1164812 |
| 代理机构： | 永新专利商标代理有限公司 |
| 代理人： | 邵伟 |
| 分类号： | H05K13/02 |
| 申请人地址： | 美国密执根 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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