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原文传递组合输送托架

专利名称：	组合输送托架
摘要：	在运输、贮存和加工过程中支撑和约束圆形的半导体晶片的组合式晶片托架，其包括用于放取晶片的顶部和底部开口，具有如Ｈ形杆的连接部的竖直前端件，竖直后端件和一对有从前端件向后端件延伸的竖直侧壁槽的侧壁件。各件中至少一个为分离塑成，在无紧固件下通过接合部与晶片托架的其它部件相连。晶片托架可搭锁在一起。在后端件上有分离的第二连接件以便允许托架与设备连接使晶片顶边向上或倒转。分离形成的部件可使用不同材料或不同成分的相同基料制造以改变静电耗散性。
专利类型：	发明专利
申请人：	氟器皿有限公司
发明人：	S·M·布哈特; S·D·埃古姆; W·C·奥尔森
专利状态：	有效
申请日期：	1998-04-16T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN98109204.7
公开号：	CN1205546
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司
代理人：	林长安
分类号：	H01L21/68
申请人地址：	美国明尼苏达州
所属类别：	发明专利