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原文传递一种光刻机导正结构

专利名称：	一种光刻机导正结构
摘要：	本发明公开一种光刻机导正结构，包括：转换机构，所述转换机构包括：托板和第一气缸，所述托板具备X轴方向和Y轴方向，所述第一气缸与所述托板传动连接；第一输送机构，所述第一输送机构包括：一第一电机和若干滚轮轴，若干所述滚轮轴分别与所述第一电机传动连接，所述托板供若干所述滚轮轴的上表面穿过；第二输送机构，所述第二输送机构包括：一第二气缸、一第二电机和若干输送组件，所述第二气缸分别与若干所述输送组件传动连接，所述托板供若干所述输送组件的上表面穿过，所述第二电机分别与若干所述输送组件传动连接。本发明能够保证光刻的对准精度，提高产品的合格率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海信耀电子有限公司
发明人：	赵晓波;王永和;黄微益;钱坤
专利状态：	有效
申请日期：	2019-09-12T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-17T00:00:00+0800
申请号：	CN201910866312.3
公开号：	CN110577074A
代理机构：	上海申新律师事务所
代理人：	沈栋栋
分类号：	B65G47/24(2006.01);B;B65;B65G;B65G47
申请人地址：	201800 上海市嘉定区恒谐路50号
所属类别：	发明专利