专利名称: | 输送机式电镀装置 |
摘要: | 输送机式电镀装置(110)有一个阳极(134),该阳极安装在靠近向基板(217)施加电镀液的一组吸收性施液构件(116)的位置上;该输送机式电镀装置还包括输送机(114),该输送机夹持基板(217)使其断开与电镀液的电接触。输送机式电镀装置(110)由包括集流器(130)和阳极(134)的流化床构件、与流化床构件(112)相邻的输送机(114)以及一组吸收性施液构件(116)构成,其中该组吸收性施液构件(116)相互邻接并靠近阳极(134),与流化床构件(112)进行液体交流。输送机装置(114)断开基板 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 泰里迪尼工业公司 |
发明人: | 杰罗姆·R·福歇尔;约瑟夫·M·韦伯 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2000-10-16T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN00814676.4 |
公开号: | CN1382233 |
代理机构: | 北京市柳沈律师事务所 |
代理人: | 魏晓刚;李晓舒 |
分类号: | C25D17/00 |
申请人地址: | 美国加利福尼亚州 |
所属类别: | 发明专利 |