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原文传递 输送机式电镀装置
专利名称: 输送机式电镀装置
摘要: 输送机式电镀装置(110)有一个阳极(134),该阳极安装在靠近向基板(217)施加电镀液的一组吸收性施液构件(116)的位置上;该输送机式电镀装置还包括输送机(114),该输送机夹持基板(217)使其断开与电镀液的电接触。输送机式电镀装置(110)由包括集流器(130)和阳极(134)的流化床构件、与流化床构件(112)相邻的输送机(114)以及一组吸收性施液构件(116)构成,其中该组吸收性施液构件(116)相互邻接并靠近阳极(134),与流化床构件(112)进行液体交流。输送机装置(114)断开基板
专利类型: 发明专利
申请人: 泰里迪尼工业公司
发明人: 杰罗姆·R·福歇尔;约瑟夫·M·韦伯
专利状态: 有效
申请日期: 2000-10-16T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN00814676.4
公开号: CN1382233
代理机构: 北京市柳沈律师事务所
代理人: 魏晓刚;李晓舒
分类号: C25D17/00
申请人地址: 美国加利福尼亚州
所属类别: 发明专利
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