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除气和冷却两用的装卸锁定组合装置
| 专利名称： | 除气和冷却两用的装卸锁定组合装置 |
| 摘要： | 一种处理晶片的组合装置(10)，包括一个金属体(12)，金属体中有一个位于至少两个装卸锁定室(18)之间中央的高真空室(20)，装卸锁定室与高真空室(20)保持流体连通，至少两个对应槽阀(22)分别隔绝每一个装卸锁定室(18)与高真空室(20)。每一个装卸锁定室(18)还包括一个用于冷却放在其中的晶片的制冷压板(82)和一个在其中照射晶片、对晶片脱气的加热灯组件(120)。一台高真空泵(78)与高真空室(20)连接，一台水泵(64)也与高真空室(20)连通。有选择地按定序操作槽阀(22)、压板(82)、加 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 安德鲁·克拉克 |
| 发明人： | 安德鲁·克拉克 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2001-07-02T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN01802285.5 |
| 公开号： | CN1386105 |
| 代理机构： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
| 代理人： | 张祖昌 |
| 分类号： | B65G49/07 |
| 申请人地址： | 美国加利福尼亚 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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