专利名称: | 模块分选器 |
摘要: | 公开了一种模块分选器,其中通过一个特殊的晶片制作过程可容易地实现添加和拆卸模块部分,以根据需要添加和拆卸装载口组件。在一个实施例中,根据本发明的模块分选器包括:为分选器限定一个小环境的一个双宽度模块部分;一个晶片处理机器人;一对校准器和一个中央控制器。该实施例的模块部分包括一对并置的装载口组件,以接收容器或开口暗盒,并将暗盒输送至分选器的小环境中,在其中对晶片进行处理。本发明还包括一个可拆卸的端面板。当需要向分选器添加辅助的模块部分时,就将端面板拆掉并用一个连接器支架替换。连接器支架可将包括一个或两个装载 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 阿西斯特技术公司 |
发明人: | 丹尼尔·巴布斯;蒂莫西·埃瓦尔德 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2001-04-10T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN01803318.0 |
公开号: | CN1416403 |
代理机构: | 北京市柳沈律师事务所 |
代理人: | 何秀明;李晓舒 |
分类号: | B65G49/07 |
申请人地址: | 美国加利福尼亚州 |
所属类别: | 发明专利 |