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弹性模式扫描光学显微术及检验系统
| 专利名称： | 弹性模式扫描光学显微术及检验系统 |
| 摘要： | 一种用于弹性检验样品的方法包括以下步骤：使用射束源形成输入射束；使用输入掩模来阻挡所述输入射束的一部分；及从所述输入射束的一部分形成定形射束。在物镜的第一部分处接收所述定形射束及将所述定形射束聚焦到样品上。在所述物镜的第二部分处收集反射射束。在所述物镜的所述第一部分及所述第二部分处及在所述物镜的第三部分处收集散射光。在暗视野检测器模块处接收所述散射光，且将所述散射光的一部分引导到暗视野检测器。所述暗视野检测器模块包括具有一或多个输出孔的输出掩模，所述一或多个输出孔允许所述散射光穿过所述物镜的所述第三部分的至少一部分穿过而作为所述散射光被引导到所述暗视野检测器的所述部分。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 美国;US |
| 申请人： | 应用材料公司 |
| 发明人： | 萨姆尔·班纳;吴冬;梅迪·瓦泽-艾拉瓦尼;瓦赫布·比沙拉 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2018-05-09T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-20T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201880029676.X |
| 公开号： | CN110603434A |
| 代理机构： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 美国加利福尼亚州 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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