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原文传递具有缓冲性能的边缘夹持校准器

专利名称：	具有缓冲性能的边缘夹持校准器
摘要：	本发明涉及一种具有缓冲性能的边缘校准器(100)以及用于增加晶片通过装置的处理量的方法。根据一个实施例，本发明有第一和第二缓冲器臂(106a、106b)以及夹头臂(104)。工件可以在支承于夹头臂(104)上时对齐。当工件对齐后，夹头臂将工件传递给缓冲器臂(106a、106b)，这样，第二工件可以在夹头臂(104)上对齐。当第二工件进行对齐时，末端执行器能够将第一工件从缓冲器臂(106a、106b)上取走，并取回另一工件，以便布置在夹头臂(104)上。
专利类型：	发明专利
申请人：	阿赛斯特技术公司
发明人：	丹尼尔·巴布斯;马修·科迪
专利状态：	有效
申请日期：	2001-08-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN01818061.2
公开号：	CN1479667
代理机构：	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：	范莉
分类号：	B25J15/08
申请人地址：	美国加利福尼亚
所属类别：	发明专利