专利名称: | 没有对准销的FIMS接口 |
摘要: | 本发明公开了一种前开口接口机械标准或“FIMS”系统,用来确保容器门(22)相对于负载通道组件上的通道门(26)正确对准而无须在通道门(26)上使用导销。在一个优选实施方案中,该负载通道组件包括活动销(27A,27B),它们设置成配合在位于FOUP的底部上的狭槽内以在负载通道组件上提供FOUP的固定和可重复的位置。该负载通道组件还包括一对从通道门(26)的外表面向外伸出的碰锁钥匙(22),用于配合在位于容器门内的门闩锁组件的狭槽(33)内。该负载通道组件还可以包括位于通道门(26)上的真空密封件。在一个实 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 阿赛斯特技术公司 |
发明人: | 弗雷德里克·罗森奎斯特 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2001-11-16T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN01819707.8 |
公开号: | CN1478046 |
代理机构: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人: | 寇英杰 |
分类号: | B65G49/07 |
申请人地址: | 美国加利福尼亚 |
所属类别: | 发明专利 |