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原文传递自动化物料传输系统及方法

专利名称：	自动化物料传输系统及方法
摘要：	本发明公开了一种自动化物料传输系统及方法，包括：一高架式传输次系统(Over Head Transportation，OHT)，用来传送、接收及放置至少一物料；至少一工作站，用来接收、传送该物料至一预定位置；一输送带；以及至少一升降装置，将该物料从该预定位置传送至该输送带上；上述的本发明，高度较高的暂存式输送带系统能实质地增加晶圆厂的空间、提高晶圆厂中在暂存式输送带上所能储存FOUP晶圆盒的数量、维持3公尺高度及3公尺宽度的移入路径及只需安装一伸缩杆及一起吊装置所节省相当的成本花费，因此使整个晶圆厂的生产
专利类型：	发明专利
申请人：	台湾积体电路制造股份有限公司
发明人：	张振彰;黄建荣
专利状态：	有效
申请日期：	2002-10-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN02147063.4
公开号：	CN1493511
代理机构：	隆天国际知识产权代理有限公司
代理人：	潘培坤;楼仙英
分类号：	B65G49/07
申请人地址：	台湾省新竹
所属类别：	发明专利