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具有集成载体监测和基于大量制造的载体管理系统的智能装载口
| 专利名称： | 具有集成载体监测和基于大量制造的载体管理系统的智能装载口 |
| 摘要： | 本发明公开了一种能够在装载口监测晶片载体的多个性能特征的系统以及一种用于在大量制造的基础上进行载体管理操作的系统。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 阿西斯特技术公司 |
| 发明人： | 雷蒙德·S·马丁 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2001-08-14T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN01816308.4 |
| 公开号： | CN1466732 |
| 代理机构： | 北京市柳沈律师事务所 |
| 代理人： | 李瑞海;王景刚 |
| 分类号： | G06F19/00 |
| 申请人地址： | 美国加利福尼亚州 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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