专利名称: | 集成的大片玻璃操纵系统 |
摘要: | 一种机械系统,用于操纵大至2米×2米、厚度0.5mm的大片薄玻璃板 (例如在LCD面板检测器中用于制造LCD面板的玻璃板)。通过使用轻质 中空卡具在空气轴承中定位维修和检测装置,并与所述被检测玻璃板真空接 触,在沿质量中心的轨道上平衡,以无偏差地移动。这淘汰了沉重的刚性平 台,显著地减少了硬件成本,操作灵活,提高了定位性能。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 光子动力学公司 |
发明人: | 大卫L·鲍尔温;史蒂文·基思 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2004-05-08T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200410038114.1 |
公开号: | CN1550434 |
代理机构: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 |
代理人: | 方 挺;余 朦 |
分类号: | B65G49/06 |
申请人地址: | 美国加利福尼亚州 |
所属类别: | 发明专利 |