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一种集成LED光源的表面量子点湿度传感器
| 专利名称： | 一种集成LED光源的表面量子点湿度传感器 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种集成LED光源的表面量子点湿度传感器，包括：GaAs衬底上面设置的LED光源层；所述LED光源层上设置的GaAs层；所述GaAs层上设置的表面量子点湿度传感层；所述表面量子点湿度传感层包括：在所述GaAs层表面上从下到上依次沉积的n型GaAs缓冲层、N层InGaAs掩埋量子点层和InGaAs表面量子点层；在所述InGaAs表面量子点层的上表面一端、第一台阶的上表面及两侧、第二台阶的上表面及两侧、第三台阶的上表面及两侧，设置有钝化层；在钝化层上设置有四个引线孔，并在四个所述引线孔中分别设置有传感上电极、传感下电极、LED上电极和LED下电极。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 河南;41 |
| 申请人： | 河南理工大学 |
| 发明人： | 王国东;谢东垒;杨莹丽;刘小莲;朱红伟;王家森 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-02-22T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-24T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201920230386.3 |
| 公开号： | CN209841689U |
| 代理机构： | 北京华仁联合知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 苏雪雪 |
| 分类号： | G01N21/64(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 454000 河南省焦作市高新区世纪大道2001号河南理工大学 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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