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原文传递强化的化学机械平整加工带

专利名称：	强化的化学机械平整加工带
摘要：	提供了一种用于在化学机械平整处理(CMP)中使用的加工带(150、160、170)。所述的加工带通过网孔带(154)和编织纤维(164)之一来强化。所述加工带包括一种将所述网孔带围住以限定出所述加工带聚合材料(152)。制造所述加工带使得所述网孔带在所述聚合材料内部形成连续的环，并且将所述网孔带构建成由交叉元件(174)组成的一个网格。在固定的接合点(176)将所述的交叉元件连接起来，以形成用于所述加工带的一个刚性支撑结构。
专利类型：	发明专利
申请人：	兰姆研究有限公司
发明人：	林际兵;D·J·海姆斯
专利状态：	有效
申请日期：	2003-03-10T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN03805654.2
公开号：	CN1639034
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司
代理人：	李连涛;王景朝
分类号：	B65G15/34
申请人地址：	美国加利福尼亚州
所属类别：	发明专利