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原文传递具有可动导轨的真空传送装置

专利名称：	具有可动导轨的真空传送装置
摘要：	本发明提供一种用于将基体传送通过真空腔的装置，特别是带有其上或该处可布置基体的基体承载架(1，100，200)的涂布机。所述基体承载架具有至少一个至少沿基体承载架的一侧延伸的导轨 (7，107，207)，其特征在于，导轨被一个或少量几个间隔的支承 (6，106，109)与基体承载架分隔开。
专利类型：	发明专利
申请人：	应用材料有限责任与两合公司
发明人：	奥利弗·海梅尔;安德烈亚斯·伊什科;迪特尔·哈斯
专利状态：	有效
申请日期：	2006-10-27T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200610137735.4
公开号：	CN101045500
代理机构：	北京华夏正合知识产权代理事务所
代理人：	孙征
分类号：	B65G49/00(2006.01)I
申请人地址：	德国阿尔策瑙
所属类别：	发明专利