专利名称: | 具有可动导轨的真空传送装置 |
摘要: | 本发明提供一种用于将基体传送通过真空腔的装置,特别是带有 其上或该处可布置基体的基体承载架(1,100,200)的涂布机。所 述基体承载架具有至少一个至少沿基体承载架的一侧延伸的导轨 (7,107,207),其特征在于,导轨被一个或少量几个间隔的支承 (6,106,109)与基体承载架分隔开。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 应用材料有限责任与两合公司 |
发明人: | 奥利弗·海梅尔;安德烈亚斯·伊什科;迪特尔·哈斯 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2006-10-27T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200610137735.4 |
公开号: | CN101045500 |
代理机构: | 北京华夏正合知识产权代理事务所 |
代理人: | 孙 征 |
分类号: | B65G49/00(2006.01)I |
申请人地址: | 德国阿尔策瑙 |
所属类别: | 发明专利 |