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测量单元及具备该测量单元的输送系统
| 专利名称： | 测量单元及具备该测量单元的输送系统 |
| 摘要： | 本发明在尺寸与液晶显示器基板的盒大致相同的测量单元(2)中 设置有：喷雾产生部(8)和喷雾放出管(10)、激光光源(12)、高速 照相机(14)，根据被激光照射的喷雾的运动来测量清洁空气的流向和 速度的分布。并且，用颗粒传感器(16)求得颗粒的大小和数量，用加 速度传感器(18)测量单元(2)受到的振动。用堆装起重机将单元(2) 搬入/搬出货架(22)，并测量在货架中保管状态下的清洁环境，测量输 送中的振动。由此，能够自动地测量货架搁板中的清洁空气的流速分布 或颗粒的大小和数量。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 村田机械株式会社 |
| 发明人： | 松叶克己 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2007-04-29T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200710102180.4 |
| 公开号： | CN101067597 |
| 代理机构： | 永新专利商标代理有限公司 |
| 代理人： | 黄剑锋 |
| 分类号： | G01N15/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本京都府 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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