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在微环境晶片传送盒和设备零件之间的真空接口
| 专利名称： | 在微环境晶片传送盒和设备零件之间的真空接口 |
| 摘要： | 在本发明的装置中，由于通过插入的接口周边衬垫(16)提供密封 以防漏的方式将传送盒(1)与处理设备(9)的制品通过口(11)连接。传送 盒门(4)可被选择性地固定在接口门(12)上，从而它们可以在来自门致 动器部件(14)的驱动下在横向行程以及随后的横向行程作为一个整体 一起运动。传送盒(1)由保持部件(15)保持。可以通过泵(22)和管道(23) 抽吸围绕这两个门的周边体积(21)。可以通过确保良好密封的锁紧部 件(20)将传送盒门(4)锁定在传送盒(1)上，同时传送盒(1)与处理设备(9) |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 阿尔卡特公司 |
| 发明人： | 卡特琳·勒盖;让·皮埃尔·德比奥勒;神原久德;埃尔旺·戈多;拉斐尔·西尔韦斯特 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2005-08-30T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200510093476.5 |
| 公开号： | CN1743254 |
| 代理机构： | 北京市金杜律师事务所 |
| 代理人： | 易咏梅 |
| 分类号： | B65G49/07(2006.01)I |
| 申请人地址： | 法国巴黎市 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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