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原文传递晶片传送单元和晶片传送系统

专利名称：	晶片传送单元和晶片传送系统
摘要：	提出了一种晶片传送单元，其具有：至少一个数据处理单元，所述至少一个数据处理单元至少设置用于记录和/或处理传感器模块的与晶片传送系统的至少一个子部件相关联的至少一个传感器的传感器数据；尤其具有：所述晶片传送系统的至少一个晶片处理模块；所述晶片传送系统的至少一个晶片接口系统，所述晶片接口系统具有晶片运输容器和用于装载和/或卸载所述晶片运输容器和/或所述晶片处理模块的装载和/或卸载站；所述晶片传送系统的至少一个晶片运输容器运输系统；和/或所述晶片传送系统的至少一个晶片搬运机器人。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	瑞士;CH
申请人：	徽拓真空阀门有限公司
发明人：	弗洛里安·埃恩;马丁·内策尔;安德列亚斯·霍费尔;埃利乔·贝拉里;马尔科·阿波洛尼;托马斯·L·斯温
专利状态：	有效
申请日期：	2019-06-10T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-17T00:00:00+0800
申请号：	CN201910496529.X
公开号：	CN110577082A
代理机构：	上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	侯聪
分类号：	B65G49/07(2006.01);B;B65;B65G;B65G49
申请人地址：	瑞士哈格
所属类别：	发明专利