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晶片处理、传送和半导体制造装置及晶片处理和衬底制法
| 专利名称： | 晶片处理、传送和半导体制造装置及晶片处理和衬底制法 |
| 摘要： | 支架驱动机构用夹持部分固定晶片支架，并在晶片处理槽内摆动它。当晶片周边部分与摆动支撑部件的顶部接触时，晶片旋转并在晶片支架里垂直运动。晶片能被有效地摆动，能做到均匀处理。通过使用超声槽里的超声波，能够提高处理速率。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 佳能株式会社 |
| 发明人： | 柳田一隆; 坂口清文 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 1998-02-04T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN98105640.7 |
| 公开号： | CN1192580 |
| 代理机构： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
| 代理人： | 王永刚 |
| 分类号： | H01L21/304 |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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