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具有晶片重新取向机构的半导体处理装置
| 专利名称： | 具有晶片重新取向机构的半导体处理装置 |
| 摘要： | 提供一种半导体处理装置。该处理装置包括输入部分（１２），该输入部分（１２）具有通过其可插入支撑多个半导体晶片（Ｗ）的托架（１６）的开口（３２）。当托架通过输入部分的开口插入时使该半导体晶片以一般的垂直状态取向。取向改变装置（４０）设置成可接收带有在一般垂直状态的半导体晶片的托架。取向改变装置可使托架重新取向，以便晶片以一般的水平状态重新取向。该处理装置还包括具有用于处理半导体晶片的多个处理台（２０，２２）的处理部分（１４）和设置成可接收在一般的水平取向上的半导体晶片的传送装置（６２）。该传送装置接收半导体 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 塞米图尔公司 |
| 发明人： | 凯尔·汉森; 马克·迪克斯; 丹尼尔·J·伍德拉夫; 弗莱德·齐拉 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 1998-01-05T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN98809735.4 |
| 公开号： | CN1278229 |
| 代理机构： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 |
| 代理人： | 李辉 |
| 分类号： | B65G49/07 |
| 申请人地址： | 美国蒙大拿州 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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