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原文传递晶片传送装置

专利名称：	晶片传送装置
摘要：	本发明公开一种具有汽缸驱动的可动指的晶片传送装置。该晶片传送装置包括其操作由驱动装置所控制的机械手组件、在其上放置晶片的平铲以及夹持件，该夹持件用于将放置在平铲上的晶片定位并固定。平铲安装在机械手组件的末端，夹持件安装在平铲上。
专利类型：	发明专利
申请人：	细美事有限公司
发明人：	金禹永;方寅浩;方泽烨
专利状态：	有效
申请日期：	2005-02-25T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200510008944.4
公开号：	CN1824592
代理机构：	北京信慧永光知识产权代理有限责任公司
代理人：	武玉琴;胡育昌
分类号：	B65G49/07(2006.01)I
申请人地址：	韩国忠清南道
所属类别：	发明专利