专利名称: | 晶片传送系统 |
摘要: | 本发明公开了一种可在分配盒(130)和SMIF容器(116)之间传送工件暗盒(123)的传送机构。该传送机构包括一个支架(102),支架(102)具有在其第一侧上用于支撑SMIF容器的一个第一支撑平台(114),和在其第二侧上用于支撑分配盒的一个第二支撑平台(128)。支架还包括一个载运器传送装置机构(112),当在初始位置时,载运器传送装置机构完全位于支架中。传送装置机构包括一个臂(134)及枢转地安装到臂上的一个抓手(136)。一旦将SMIF容器和分配盒设置到它们各自的支撑平台上,传送装置机构就在这两 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 阿西斯特技术公司 |
发明人: | 安东尼·C·博诺拉;罗伯特·R·内奇 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2000-12-04T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN00816521.1 |
公开号: | CN1402691 |
代理机构: | 北京市柳沈律师事务所 |
代理人: | 何秀明;李晓舒 |
分类号: | B65G49/07 |
申请人地址: | 美国加利福尼亚州 |
所属类别: | 发明专利 |