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原文传递 晶片传送系统
专利名称: 晶片传送系统
摘要: 本发明公开了一种可在分配盒(130)和SMIF容器(116)之间传送工件暗盒(123)的传送机构。该传送机构包括一个支架(102),支架(102)具有在其第一侧上用于支撑SMIF容器的一个第一支撑平台(114),和在其第二侧上用于支撑分配盒的一个第二支撑平台(128)。支架还包括一个载运器传送装置机构(112),当在初始位置时,载运器传送装置机构完全位于支架中。传送装置机构包括一个臂(134)及枢转地安装到臂上的一个抓手(136)。一旦将SMIF容器和分配盒设置到它们各自的支撑平台上,传送装置机构就在这两
专利类型: 发明专利
申请人: 阿西斯特技术公司
发明人: 安东尼·C·博诺拉;罗伯特·R·内奇
专利状态: 有效
申请日期: 2000-12-04T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN00816521.1
公开号: CN1402691
代理机构: 北京市柳沈律师事务所
代理人: 何秀明;李晓舒
分类号: B65G49/07
申请人地址: 美国加利福尼亚州
所属类别: 发明专利
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