原文传递
避免晶片传送系统执行错误制程的方法
| 专利名称： | 避免晶片传送系统执行错误制程的方法 |
| 摘要： | 本发明提供了一种避免半导体晶片传送系统执行错误制程的方法。本发明方法包括：传送传送箱于介面装置，传送箱其内具有工作件，及其上具有货签系统；通过主控制器传送第一信号至介面装置，要求锁定传送箱；锁定传送箱于介面装置；通过介面装置的货签读写系统读取货签系统的数据；通过主控制器传送第二信号至制程工具，进行检查制程工具是否处于准备状态；及假如制程工具是处于准备状态，传送工作件于制程工具开始制程。这样，由于当传送箱一旦被置于介面装置时就将其锁定而可避免因被置换的传送箱内工作件与主控制器先行决定的各项制程不同而执行到错 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 发明人： | 刘全 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2001-09-28T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN01135436.4 |
| 公开号： | CN1410329 |
| 代理机构： | 上海专利商标事务所 |
| 代理人： | 任永武 |
| 分类号： | B65G49/07 |
| 申请人地址： | 台湾省新竹科学工业园区新竹市力行路16号 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
