专利名称: | 晶片传送装置 |
摘要: | 本发明提供了一种晶片传送装置,该晶片传送装置能够通过同时地和选 择性地传送期望数量的晶片以缩短晶片传送时间来提高工作效率。该晶片传 送装置包括能够支撑和传送至少一个晶片的多个晶片支撑构件。该晶片传送 装置还包括连接到晶片支撑构件的移动装置,以移动与将被传送的晶片的数 量对应的晶片支撑构件,以这种方式,晶片支撑构件同时传送至少一个晶片。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 三星电子株式会社 |
发明人: | 崔溶元;朴埈吾 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2007-05-29T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200710104697.7 |
公开号: | CN101192556 |
代理机构: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 |
代理人: | 韩明星;邱 玲 |
分类号: | H01L21/677(2006.01)I |
申请人地址: | 韩国京畿道水原市灵通区梅滩洞416 |
所属类别: | 发明专利 |