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原文传递 晶片传送装置
专利名称: 晶片传送装置
摘要: 本发明提供了一种晶片传送装置,该晶片传送装置能够通过同时地和选 择性地传送期望数量的晶片以缩短晶片传送时间来提高工作效率。该晶片传 送装置包括能够支撑和传送至少一个晶片的多个晶片支撑构件。该晶片传送 装置还包括连接到晶片支撑构件的移动装置,以移动与将被传送的晶片的数 量对应的晶片支撑构件,以这种方式,晶片支撑构件同时传送至少一个晶片。
专利类型: 发明专利
申请人: 三星电子株式会社
发明人: 崔溶元;朴埈吾
专利状态: 有效
申请日期: 2007-05-29T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200710104697.7
公开号: CN101192556
代理机构: 北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人: 韩明星;邱 玲
分类号: H01L21/677(2006.01)I
申请人地址: 韩国京畿道水原市灵通区梅滩洞416
所属类别: 发明专利
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