专利名称: | 非接触保持装置和非接触保持传送装置 |
摘要: | 本发明提供了一种非接触保持装置,其包括:本体(2),其形成有喷射凹 部(3),该喷射凹部(3)具有喷射流体的喷射口(3b)和朝喷射口逐渐扩大 展开的锥形表面(3c);排出口(10),其穿透设置在与本体的喷射凹部的锥形 表面相邻的位置上,以便在轴向上沿着该锥形表面排出流体;流体供给通道 (7),其与排出口连通,以便供给流体;放射状通风导向装置(11),其形成 于喷射凹部的锥形表面上,以便从喷射凹部的中心向外导引从排出口排出的流 体的流动;和平坦端面(4),其与本体的喷射口的外缘部分连成一体,与面 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 秋山泉 |
发明人: | 秋山泉 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2005-02-23T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200580000104.1 |
公开号: | CN1765013 |
代理机构: | 中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人: | 胡 强 |
分类号: | H01L21/68(2006.01)I |
申请人地址: | 日本东京都 |
所属类别: | 发明专利 |