专利名称: | 非接触输送装置 |
摘要: | 本发明涉及一种非接触输送装置,包括:顶板(12),该顶板(12) 形成有空气供给孔(30);底板(18),该底板(18)形成有多个空气 喷射孔(34);以及多个中间板(26),这些中间板(26)堆叠和布置 在顶板(12)和底板(18)之间。中间板(26)中形成有狭槽(24), 该狭槽用作喷嘴(22)以及与空气供给孔(30)和空气喷射孔(34) 连通的流体通道(20)。设置了螺钉部件(28),该螺钉部件使顶板(12)、 多个中间板(26)和底板(18)成一体地连接。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | SMC株式会社 |
发明人: | 永井茂和;齐藤昭男;染谷雅彦 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2005-10-19T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200510113826.X |
公开号: | CN1783450 |
代理机构: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人: | 范 莉 |
分类号: | H01L21/677(2006.01)I |
申请人地址: | 日本东京都 |
所属类别: | 发明专利 |