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原文传递一种硅片非接触输送装置

专利名称：	一种硅片非接触输送装置
摘要：	本实用新型公开了一种硅片非接触输送装置，包括第一滚轴固定座、第二滚轴固定座、伺服电机、支架，以及位于第一滚轴固定座内的两个以上的第一滚轴，位于第二滚轴固定座内的内的两个以上的第二滚轴；第一滚轴固定座与第二滚轴固定座首尾相接，第一滚轴固定座的首端外壁与第二滚轴固定座尾端内壁相接触，通过贯穿的主动轴进行连接，主动轴通过伺服电机驱动旋转；第一滚轴固定座的首端设有一个第一滚轴，主动轴贯穿该第一滚轴；相邻的两个滚轴之间依次通过皮带连接，通过主动轴旋转驱动所有的滚轴进行旋转，从而将滚轴上方的硅片进行输送。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	南京卓胜自动化设备有限公司
发明人：	张弛;王志刚;王四海
专利状态：	有效
申请日期：	2018-12-20T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-30T00:00:00+0800
申请号：	CN201822141686.2
公开号：	CN209321758U
代理机构：	南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人：	肖明芳
分类号：	B65G13/00(2006.01);B;B65;B65G;B65G13
申请人地址：	211162 江苏省南京市江宁滨江经济开发区喜燕路3号
主权项：	1.一种硅片非接触输送装置，其特征在于，包括第一滚轴固定座(21)、第二滚轴固定座(22)、伺服电机(6)、支架(7)，以及位于第一滚轴固定座(21)内的两个以上的第一滚轴(11)，位于第二滚轴固定座(22)内的内的两个以上的第二滚轴(12)；所述第一滚轴固定座(21)与第二滚轴固定座(22)首尾相接，第一滚轴固定座(21)的首端外壁与第二滚轴固定座(22)尾端内壁相接触，通过贯穿的主动轴(4)进行连接，主动轴(4)通过伺服电机(6)驱动旋转；第一滚轴固定座(21)的首端设有一个第一滚轴(11)，主动轴(4)贯穿该第一滚轴(11)；相邻的两个滚轴之间依次通过皮带(3)连接，通过主动轴(4)旋转驱动所有的滚轴进行旋转，从而将滚轴上方的硅片(9)进行输送；第一滚轴固定座(21)与第二滚轴固定座(22)首尾相接处通过底部的支架(7)进行支撑。 2.根据权利要求1所述的硅片非接触输送装置，其特征在于，第一滚轴(11)和第二滚轴(12)的两端设有凹槽，相邻的两个滚轴通过嵌入在凹槽内皮带(3)依次相连。 3.根据权利要求2所述的硅片非接触输送装置，其特征在于，第一滚轴(11)和第二滚轴(12)材质为聚丙烯，表面处理光滑。 4.根据权利要求1所述的硅片非接触输送装置，其特征在于，所述主动轴(4)通过联轴器(5)与伺服电机(6)的输出轴相连接。 5.根据权利要求4所述的硅片非接触输送装置，其特征在于，所述伺服电机(6)通过安装在与支架(7)平行的电机固定座(8)上。
所属类别：	实用新型