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原文传递真空干燥设备及监控装置

专利名称：	真空干燥设备及监控装置
摘要：	本公开提供一种真空干燥设备及监控装置，涉及成膜工艺技术领域。本公开的监控装置用于对一打印层进行监测，包括监控探头、控制组件和驱动机构。监控探头与打印层正对设置，且包括光路系统、光源和感应组件，光源设有朝向光路系统的出光孔，感应组件设有朝向光路系统的入光孔，光路系统用于在光路系统靠近打印层的一侧形成出光孔的共轭图像，且入光孔与共轭图像共轭；感应组件用于根据进入入光孔的光线输出感应信号。控制组件用于输出控制信号，直至感应信号的强度达到阈值时停止。驱动机构与监控探头连接，用于响应控制信号驱动监控探头向打印层移动。本公开监控装置可对打印层的液面变化进行监控，为调整真空干燥设备提供数据。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	安徽;34
申请人：	合肥京东方卓印科技有限公司
发明人：	叶志杰;黄文同;王欣欣;彭锐;贾文斌
专利状态：	有效
申请日期：	2019-09-25T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-31T00:00:00+0800
申请号：	CN201910912569.8
公开号：	CN110632073A
代理机构：	北京律智知识产权代理有限公司
代理人：	王辉;阚梓瑄
分类号：	G01N21/84(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	230012 安徽省合肥市新站区新站工业物流园内A组团E区宿舍楼15幢
主权项：	1.一种监控装置，用于对一打印层进行监测，其特征在于，所述监控装置包括：监控探头，与所述打印层正对设置，且包括光路系统、光源和感应组件，所述光源设有朝向所述光路系统的出光孔，所述感应组件设有朝向所述光路系统的入光孔，所述光路系统用于在所述光路系统靠近所述打印层的一侧形成所述出光孔的共轭图像，且所述入光孔与所述共轭图像共轭；所述感应组件用于根据进入所述入光孔的光线输出感应信号；控制组件，用于输出控制信号，直至所述感应信号的强度达到阈值时停止；驱动机构，与所述监控探头连接，用于响应所述控制信号驱动所述监控探头向所述打印层移动。 2.根据权利要求1所述的监控装置，其特征在于，所述光路系统包括：凸透镜，设于所述感应组件和所述打印层之间，且所述凸透镜的光轴垂直于所述打印层，所述入光孔的中心位于所述凸透镜的光轴上；分光机构，设于所述凸透镜和所述感应组件之间，所述出光孔朝向所述分光机构设置，所述分光机构用于将所述出光孔出射的光线反射向所述凸透镜，且所述分光机构能供穿过所述凸透镜射向所述入光孔的光线通过。 3.根据权利要求2所述的监控装置，其特征在于，所述分光机构包括：半透半反镜，与所述凸透镜的光轴相交，且与所述光轴呈预设角度的夹角。 4.根据权利要求3所述的监控装置，其特征在于，所述预设角度为45°。 5.根据权利要求1所述的监控装置，其特征在于，所述光源包括：发光器件，朝向所述光路系统设置；第一遮光件，阻隔于所述发光器件和所述光路系统之间，所述出光孔设于所述第一遮光件。 6.根据权利要求5所述的监控装置，其特征在于，所述发光器件用于发射单色光。 7.根据权利要求1所述的监控装置，其特征在于，所述感应组件包括：光电感应器件，朝向所述光路系统设置；第二遮光件，阻隔于所述光电感应器件和所述光路系统之间，所述入光孔设于所述第二遮光件。 8.根据权利要求1所述的监控装置，其特征在于，所述监控装置还包括：定位组件，用于实时检测所述监测探头的位置；所述控制组件用于根据所述监测探头的位置确定所述监测探头移动的距离。 9.根据权利要求1所述的监控装置，其特征在于，所述出光孔的孔径均为10μm-30μm。 10.一种真空干燥设备，其特征在于，包括：加热盘，用于承载形成有打印层的基材；权利要求1-9任一项所述的监控装置，设于所述打印层背离所述加热盘的一侧，且所述监控探头与所述打印层正对设置。
所属类别：	发明专利