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原文传递舱室分送方法

专利名称：	舱室分送方法
摘要：	本发明提供一种舱室分送方法，用于将多个晶片分送于一机台，机台包含有多个舱室，用于依据多个工艺配方来对晶片加工，分送管理方法包含有设定机台及舱室的状态，依据舱室的状态来判断工艺配方是否可执行，以及依据可执行的工艺配方来分送晶片至机台，使舱室对晶片加工。
专利类型：	发明专利
申请人：	力晶半导体股份有限公司
发明人：	程伟;徐健
专利状态：	有效
申请日期：	2004-11-02T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200410089710.2
公开号：	CN1769151
代理机构：	北京市柳沈律师事务所
代理人：	王志森;黄小临
分类号：	B65G49/07(2006.01)I
申请人地址：	台湾省新竹市
所属类别：	发明专利