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立式热处理装置和被处理体移送方法
| 专利名称： | 立式热处理装置和被处理体移送方法 |
| 摘要： | 在立式热处理装置中，通过被处理体收纳容器(托架)(16)和环 状支撑板(15)在与上下方向隔开间隔保持多个被处理体的被处理体 保持工具(舟皿)(9)之间移送被处理体的改良移送机构(21)，具有 多个基板支撑工具(20)，各基板支撑工具包括在下侧夹紧被处理体W 的夹紧机构(28)，各夹紧机构具有固定在基板支撑工具前端卡止被处 理体W前缘部的固定卡止部(30)；和可移动设在基板支撑工具(20) 基端部来可装卸卡止被处理体W后缘部的可动卡止部(31)。能同时 迅速可靠移送多个被处理体W。利用夹紧机 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 浅利聪;三原胜彦;菊池浩 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2005-03-25T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200580000305.1 |
| 公开号： | CN1774607 |
| 代理机构： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 龙 淳 |
| 分类号： | F27B5/12(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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