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晶片传输系统及其传输方法与晶舟交换系统及其交换方法
| 专利名称： | 晶片传输系统及其传输方法与晶舟交换系统及其交换方法 |
| 摘要： | 一种晶舟交换系统，其至少包括晶片暂存装置、第一晶舟座、第二晶舟 座与移动装置。其中，晶片暂存装置具有多个晶片承载单元。第一晶舟座用 以承载第一晶舟，而第二晶舟座用以承载第二晶舟。此外，移动装置连接第 一晶舟座与第二晶舟座，用以先后移动第一晶舟座与第二晶舟座至晶片暂存 装置，以使存放于第一晶舟内的多个晶片经由晶片承载单元而同时移至第二 晶舟内。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 力晶半导体股份有限公司 |
| 发明人： | 罗文明;杨进荣;曾高茂;吴炫萱;谢英财 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2005-04-18T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200510065584.1 |
| 公开号： | CN1854038 |
| 代理机构： | 北京市柳沈律师事务所 |
| 代理人： | 陶凤波;侯 宇 |
| 分类号： | B65G49/07(2006.01)I |
| 申请人地址： | 台湾省新竹市 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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