专利名称: | 制造平板显示器的系统 |
摘要: | 在此公开了一种平板显示器(FPD)的制造系统,其包括一个或多个 沿成行路线连续地移动衬底的衬底传送线、以及多个彼此叠置以用于载 入和卸下完成处理后的衬底的载荷锁定腔,从而对可衬底进行有效的处 理。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 爱德牌工程有限公司 |
发明人: | 李荣钟;崔浚泳;韩明宇;金允基;权孝重;曺生贤;金银石;崔银烈 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2006-05-26T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200610078441.9 |
公开号: | CN1870241 |
代理机构: | 北京集佳知识产权代理有限公司 |
代理人: | 王艳江;杨生平 |
分类号: | H01L21/677(2006.01)I |
申请人地址: | 韩国京畿道城南市中院区上大院洞333-5番地 |
所属类别: | 发明专利 |