专利名称: | 制造期间用于传送平板显示器衬底的系统 |
摘要: | 一种用于在平板显示器生产线的处理站之间传送平板显示器的衬底 的系统。该系统包括:传送其中装载衬底的传送容器的传送装置;容器 装载和卸载装置,该容器装载和卸载装置将容器装载在传送装置上并从 传送装置卸载容器;和衬底装载和卸载装置,该衬底装载和卸载装置在 容器和位于各个站处的处理设备之间传送衬底。该传送装置包括:安装 在设施地板上的轨道;和利用直线电动机沿轨道可编程运动的多个轮式 车。该系统能够使衬底传送时间得到实质减小,并在整个传送过程提供 对衬底的坚固保护。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 三星电子株式会社 |
发明人: | 尹起天;黄焕杰;金裕锡;金璡其;李仁浩;李 亨;郑胜日 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2006-06-20T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200610093871.8 |
公开号: | CN1895971 |
代理机构: | 中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人: | 王新华 |
分类号: | B65G37/00(2006.01)I |
申请人地址: | 韩国京畿道 |
所属类别: | 发明专利 |