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原文传递在空中传送期间稳定衬底的载体

专利名称：	在空中传送期间稳定衬底的载体
摘要：	本发明涉及一种在空中传送期间稳定衬底的载体的方法。在第一方案中，提供第一装置，用于衬底载体的处理位置间的空中传送。第一装置包括(1)空中传送机构；(2)挂在空中传送机构上的衬底载体支架，适于接受和支撑衬底载体；以及(3)稳定装置，适于限制衬底载体和衬底载体支架相对于空中传送机构的摇摆。还提供了大量的其它实施例。
专利类型：	发明专利
申请人：	应用材料有限公司
发明人：	迈克尔·R·赖斯;埃里克·A·恩格尔哈德特;罗伯特·B·劳伦斯;马丁·R·埃里奥特;杰弗里·C·赫金斯
专利状态：	有效
申请日期：	2004-11-12T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200410095432.1
公开号：	CN1636845
代理机构：	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：	董敏
分类号：	B65G49/07
申请人地址：	美国加利福尼亚
所属类别：	发明专利