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原文传递平面显示器用基板输送装置

专利名称：	平面显示器用基板输送装置
摘要：	本发明涉及一种通过最小的显影装置安装空间来获得最高的空间利用率的平面显示器用基板输送装置。本发明包括：腔室，其用于提供基板处理空间；显影液供给装置，其安装在所述腔室内，并用于在输入到腔室的基板上涂敷显影液；支撑部，其安装在所述腔室内部，并具有一定的框架结构；多个倾斜输送部，其铰接于所述支撑部，且具备由驱动单元转动的输送辊，并通过该输送辊输送基板；导引机构，其用于引导所述支撑部移动；另一驱动单元，其用于使所述支撑部上升及下降；倾斜诱导装置，其诱导所述多个倾斜输送部以铰接部为中
专利类型：	发明专利
申请人：	显示器生产服务株式会社
发明人：	孙台峰;柳东勋
专利状态：	有效
申请日期：	2006-12-08T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200610160879.1
公开号：	CN1990363
代理机构：	北京金信立方知识产权代理有限公司
代理人：	黄威;张金海
分类号：	B65G49/06(2006.01)I
申请人地址：	韩国京畿道
所属类别：	发明专利