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原文传递生物传感器及其制作方法

专利名称：	生物传感器及其制作方法
摘要：	一种生物传感器及其制作方法，该生物传感器包括：底栅(110)；第一电介质层(140)；线隧穿结构，该线隧穿结构由第一半导体层(161)和第二半导体层(162)部分重叠构成；源极(120)和漏极(130)；第二电介质层(150)；以及生物物质受体(170)，该生物物质受体(170)用于与被探测物结合进行选择性探测。该生物传感器采用采用第一半导体层(161)和第二半导体层(162)重叠构成的线隧穿结构，制作较为容易，由于亚阈值摆幅不受载流子热分布的限制，在室温下可以实现更小的亚阈值摆幅，并且整个重叠区域均是有效信号感测区域，从而提高传感器的灵敏度。另外，采用底栅，可以方便的设置传感器的静态工作点，实现最优的灵敏度性能。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	华为技术有限公司
发明人：	徐挽杰;杨喜超;张臣雄
专利状态：	有效
申请日期：	2016-09-07T00:00:00+0800
发布日期：	2019-04-26T00:00:00+0800
申请号：	CN201680089091.8
公开号：	CN109690305A
代理机构：	北京龙双利达知识产权代理有限公司
代理人：	时林;毛威
分类号：	G01N27/414(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	518129 广东省深圳市龙岗区坂田华为总部办公楼
主权项：	PCT国内申请，权利要求书已公开。
所属类别：	发明专利