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原文传递先进的多压力工件加工

专利名称：	先进的多压力工件加工
摘要：	工件加工使用和处理室(32)协同的转移室(12)。在预热压力下，将该工件(30)加热到处理温度，之后在处理压力下，暴露于等离子体，该处理压力低于预热压力。处理室压力不超过预热压力，但是在处理室中可诱导快速的压力增长，其由处理压力过渡到预热压力。可将转移室压力维持在处理压力、预热压力下，或者可将其增至所选择的压力，从而可将该处理室再充气到预热压力。再充气装置(54)可在该处理室中选择性诱导快速的压力增加。
专利类型：	发明专利
申请人：	马特森技术公司
发明人：	丹尼尔·J·迪瓦恩;勒内·乔治;瑞安·M·帕库尔斯基;戴维·A·巴克
专利状态：	有效
申请日期：	2005-01-06T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200580002005.7
公开号：	CN1910308
代理机构：	北京市柳沈律师事务所
代理人：	封新琴;巫肖南
分类号：	C23F1/00(2006.01)I
申请人地址：	美国加利福尼亚州
所属类别：	发明专利