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原文传递 消除静电的方法
专利名称: 消除静电的方法
摘要: 一种消除静电的方法,适于在真空环境中,消除搬运装置与基板 之间因摩擦而产生的静电,此消除静电的方法是首先提供基板,此基 板具有正面与背面。接着,于基板的背面上形成导电薄膜。之后,利 用搬运装置传送此基板,当搬运装置与基板的背面的导电薄膜接触 时,累积在搬运装置上的静电会通过导电薄膜而传导消散,而避免静 电破坏基板。本发明可消除基板在搬送时在基板上产生的静电破坏现 象。
专利类型: 发明专利
申请人: 中华映管股份有限公司
发明人: 陈建裕;钟享显;许泓译
专利状态: 有效
申请日期: 2005-08-12T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200510090100.9
公开号: CN1913739
代理机构: 北京连和连知识产权代理有限公司
代理人: 王永红
分类号: H05F3/00(2006.01)I
申请人地址: 中国台湾台北市中山北路三段二十二号
所属类别: 发明专利
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