专利名称: | 消除静电的方法 |
摘要: | 一种消除静电的方法,适于在真空环境中,消除搬运装置与基板 之间因摩擦而产生的静电,此消除静电的方法是首先提供基板,此基 板具有正面与背面。接着,于基板的背面上形成导电薄膜。之后,利 用搬运装置传送此基板,当搬运装置与基板的背面的导电薄膜接触 时,累积在搬运装置上的静电会通过导电薄膜而传导消散,而避免静 电破坏基板。本发明可消除基板在搬送时在基板上产生的静电破坏现 象。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 中华映管股份有限公司 |
发明人: | 陈建裕;钟享显;许泓译 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2005-08-12T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200510090100.9 |
公开号: | CN1913739 |
代理机构: | 北京连和连知识产权代理有限公司 |
代理人: | 王永红 |
分类号: | H05F3/00(2006.01)I |
申请人地址: | 中国台湾台北市中山北路三段二十二号 |
所属类别: | 发明专利 |