专利名称: | 一种用于消除静电的系统 |
摘要: | 一种用于消除静电的系统,包括一机械手臂、一设置在机械手臂前端的 夹爪、一设置在机械手臂上的连杆组,以及一设置在连杆组上的静电消除器。 静电消除器可借由连杆组在一固定范围内往复移动,以消除静电。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 友达光电股份有限公司 |
发明人: | 刘家彰;陈庆育;赵启仲 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2006-04-28T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200710199151.4 |
公开号: | CN101197302 |
代理机构: | 北京市柳沈律师事务所 |
代理人: | 彭久云 |
分类号: | H01L21/677(2006.01)I |
申请人地址: | 中国台湾新竹市 |
所属类别: | 发明专利 |