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原文传递一种高硬度高脆性陶瓷旋转靶材的加工方法

专利名称：	一种高硬度高脆性陶瓷旋转靶材的加工方法
摘要：	本发明提出了一种高硬度高脆性陶瓷旋转靶材的加工方法，该方法包括以下步骤：(1)加工垂直面：从背管的末端入刀，沿水平方向进行切割，除去背管末端的靶材部分，形成背管末端的延伸段，以及靶材部分末端的垂直面；(2)加工倒角：从靶材部分的末端进刀，对靶材部分末端的垂直面进行角度处理，得到倒角，所述倒角与步骤(1)的垂直面构成台阶；(3)对靶材部分的表面进行抛光处理；(4)对靶材进行保温处理。使用本发明提供的加工方法，可加工出表面质量优，表面不留刀痕的陶瓷旋转靶材，并且加工效率由120分钟每件提高到70分钟每件，成品率由70％提高到99％。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	河北;13
申请人：	河北冠靶科技有限公司
发明人：	温艳玲;惠知;葛小光
专利状态：	有效
申请日期：	2018-12-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-04-26T00:00:00+0800
申请号：	CN201811631575.8
公开号：	CN109676800A
代理机构：	北京细软智谷知识产权代理有限责任公司
代理人：	刘静培
分类号：	B28D1/00(2006.01);B;B28;B28D;B28D1
申请人地址：	052360 河北省石家庄市辛集市兴业街与火炬路交叉口西北角
主权项：	1.一种高硬度高脆性陶瓷旋转靶材的加工方法，所述旋转靶材包括背管和位于所述背管表面的靶材部分，背管两端未被靶材部分包裹的部分构成延伸面，其特征在于，该方法包括以下步骤： (1)加工垂直面：从背管的末端入刀，沿水平方向进行切割，除去背管末端的靶材部分，形成背管末端的延伸段，以及靶材部分末端的垂直面； (2)加工倒角：从靶材部分的末端进刀，对靶材部分末端的垂直面进行角度处理，得到倒角，所述倒角与步骤(1)的垂直面构成台阶； (3)对靶材部分的表面进行抛光处理； (4)对靶材进行保温处理。 2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)中，切割前将车床主轴转速调为50～120r/min，车床切削进给量为0.3～2mm/r。 3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)中，控制环境温度为24～35℃，环境湿度为60％，靶材表面温度为350～500℃。 4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)完成后，使靶材表面冷却至25℃，再进行步骤(2)。 5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(2)中，切割前将车床切削进给量调为0.3～2mm/r。 6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(2)中，所述倒角与水平面的夹角为30°～40°。 7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(4)中，所述保温处理是在25℃环境下静置15～36小时，然后进行包装。 8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)中所述延伸段的长度为30.5mm，步骤(2)中所述台阶的高度为1～5mm，优选3mm。 9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述靶材部分的材质为氧化物或氮化物，所述背管的材质为不锈钢。 10.根据权利要求1至9任一项所述方法加工得到的陶瓷旋转靶材，所述旋转靶材包括背管和靶材部分，所述靶材部分设置于所述背管的表面，所述背管的长度大于所述靶材部分的长度，在所述靶材部分的末端，所述背管继续向外延伸形成延伸段，所述靶材部分的末端设有倒角，所述倒角为25°～35°，优选30°，所述倒角的末端具有垂直于所述背管的台阶。
所属类别：	发明专利