专利名称: | 用于传送基板的搬运器 |
摘要: | 一种用于安全传送基板的具有多个支撑条的搬运器。所述搬运器包 括:框架,具有:通孔;彼此相对的第一内表面和第二内表面;布置在 所述通孔中并与所述第一和第二内表面连接的多个支撑条;形成在所述 第一内表面和第二内表面中的槽,以及用于将基板移入工艺室并用于将 基板从工艺室中取出的移动单元。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | LG.菲利浦LCD株式会社;亚威科股有限公司;LG电子株式会社 |
发明人: | 金成垠;文亮植;郑钟范 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2006-06-29T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200610100139.9 |
公开号: | CN1923642 |
代理机构: | 北京三友知识产权代理有限公司 |
代理人: | 孙海龙 |
分类号: | B65G49/00(2006.01)I |
申请人地址: | 韩国首尔 |
所属类别: | 发明专利 |