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原文传递 用于传送基板的搬运器
专利名称: 用于传送基板的搬运器
摘要: 一种用于安全传送基板的具有多个支撑条的搬运器。所述搬运器包 括:框架,具有:通孔;彼此相对的第一内表面和第二内表面;布置在 所述通孔中并与所述第一和第二内表面连接的多个支撑条;形成在所述 第一内表面和第二内表面中的槽,以及用于将基板移入工艺室并用于将 基板从工艺室中取出的移动单元。
专利类型: 发明专利
申请人: LG.菲利浦LCD株式会社;亚威科股有限公司;LG电子株式会社
发明人: 金成垠;文亮植;郑钟范
专利状态: 有效
申请日期: 2006-06-29T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200610100139.9
公开号: CN1923642
代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
代理人: 孙海龙
分类号: B65G49/00(2006.01)I
申请人地址: 韩国首尔
所属类别: 发明专利
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