专利名称: | 用于脆性基板的传送设备 |
摘要: | 本发明提供了一种用于脆性基板的传送设备,该传送设备能够 防止使用传送带传送基板时的带下方的污染。用于脆性基板的该传 送设备包括:传送装置,用于传送待被切割的脆性基板;以及电机 部,用于驱动传送装置,其中传送装置包括:沿环形路径行进以传 送脆性基板的带部、用于支撑带部的带支撑部、以及用于抽吸带部 下方的污染物的抽吸部。因此,可以减少驱动带时带下方的污染物 并改善传送性能。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 塔工程有限公司 |
发明人: | 金钟相;朴成模 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2007-07-24T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200710136364.2 |
公开号: | CN101100243 |
代理机构: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 |
代理人: | 章社杲;吴贵明 |
分类号: | B65G49/06(2006.01)I |
申请人地址: | 韩国京畿道 |
所属类别: | 发明专利 |