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原文传递 用于脆性基板的传送设备
专利名称: 用于脆性基板的传送设备
摘要: 本发明提供了一种用于脆性基板的传送设备,该传送设备能够 防止使用传送带传送基板时的带下方的污染。用于脆性基板的该传 送设备包括:传送装置,用于传送待被切割的脆性基板;以及电机 部,用于驱动传送装置,其中传送装置包括:沿环形路径行进以传 送脆性基板的带部、用于支撑带部的带支撑部、以及用于抽吸带部 下方的污染物的抽吸部。因此,可以减少驱动带时带下方的污染物 并改善传送性能。
专利类型: 发明专利
申请人: 塔工程有限公司
发明人: 金钟相;朴成模
专利状态: 有效
申请日期: 2007-07-24T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200710136364.2
公开号: CN101100243
代理机构: 北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人: 章社杲;吴贵明
分类号: B65G49/06(2006.01)I
申请人地址: 韩国京畿道
所属类别: 发明专利
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