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薄板状材料输送用气动工作台以及薄板状材料输送装置
| 专利名称： | 薄板状材料输送用气动工作台以及薄板状材料输送装置 |
| 摘要： | 本发明提供一种抑制无尘室内的空气紊流、并且高可靠性地获得 薄板状材料的较大的上浮量的薄板状材料输送用气动工作台以及包括 该气动工作台的薄板状材料输送装置。薄板状材料输送用气动工作台 (14)具有外壁部(20)、隔壁部(28)、和气流均匀分配衰减器(30)；其中， 外壁部(20)是上表面部(16)为大致平坦的箱状体，且在所述上表面部 (16)上形成了多个给气孔(18)以对玻璃基板(12)的下表面供给气体；所 述隔壁部(28)设置在该外壁部(20)内，以将该外壁部(20)的内侧分隔为 用于向该外 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 株式会社日本设计工业;芝浦机械电子装置股份有限公司 |
| 发明人： | 名仓成之;滨中亮明;弓场说治;鸟山典之;小栗勤;牧野勉;福田丈二 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2006-10-11T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200610142371.9 |
| 公开号： | CN1948107 |
| 代理机构： | 永新专利商标代理有限公司 |
| 代理人： | 陈建全 |
| 分类号： | B65G49/06(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本静冈县 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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