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薄板状基板的运送装置及其运送控制方法
| 专利名称： | 薄板状基板的运送装置及其运送控制方法 |
| 摘要： | 本发明涉及把液晶显示面板、玻璃基板等薄板状基板运送到处理装置 内的运送装置，该运送装置，具备带有运送大型薄板状基板的转动臂(16) 的比较大型的机器人(14)，即使有2m左右高度而能够稳定举起，且运 送时能够矫正延伸转动臂(16)时的弯曲量。这种运送装置中，设有能够 升降地悬臂支撑在2个直立支撑体(12)上的水平支撑台部(13)，在水 平支撑台部(13)上放置具有转动臂(16)的运送机器人(14)。另外， 延伸臂时的弯曲量通过对应于弯曲量上升水平支撑台部(13)的高度而矫 正。弯曲量，也能够 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 乐华股份有限公司 |
| 发明人： | 坂田胜则;奥津英和;藤井诚一 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2004-07-02T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200480018520.X |
| 公开号： | CN1816907 |
| 代理机构： | 中科专利商标代理有限责任公司 |
| 代理人： | 刘 建 |
| 分类号： | H01L21/68(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本国广岛县 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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