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原文传递太赫兹近场成像装置和方法

专利名称：	太赫兹近场成像装置和方法
摘要：	本申请实施例涉及一种太赫兹近场成像装置和方法，太赫兹近场成像装置包括太赫兹光源模块，用于发射太赫兹激光；分束器，用于将太赫兹激光分为信号光和参考光；反射模块，包括探针单元和反射单元，探针单元设置在信号光的传输的光轴上，用于接收信号光并将信号光发射至样品，以激发样品反馈携带样品信息的反射光；反射单元设置在参考光传输的光轴上，用于接收并反射参考光；分束器还用于接收反射光和参考光，以形成反射光和参考光的太赫兹干涉光信号；处理模块，用于对太赫兹干涉光信号进行处理，以获取样品的图像信息。该装置通过将信号光通过探针单元发射至样品，并通过反射单元反射的参考光与样品反馈的反射光进行干涉，可以实现太赫兹近场成像，且分辨率较高。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	河北;13
申请人：	雄安华讯方舟科技有限公司
发明人：	杨彬;张艳东;丁庆;冯军正
专利状态：	有效
申请日期：	2018-12-27T00:00:00+0800
发布日期：	2019-04-30T00:00:00+0800
申请号：	CN201811612958.0
公开号：	CN109696422A
代理机构：	广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人：	吴平
分类号：	G01N21/45(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	071700 河北省保定市容城县容蠡路西侧华北机电城2号楼1号房
主权项：	1.一种太赫兹近场成像装置，其特征在于，包括：太赫兹光源模块，用于发射太赫兹激光；分束器，设置在所述太赫兹激光传输的光轴上，用于将所述太赫兹激光分为信号光和参考光；反射模块，包括探针单元和反射单元，所述探针单元设置在所述信号光传输的光轴上，用于接收所述信号光并将所述信号光发射至样品，以激发所述样品反馈携带样品信息的反射光；所述反射单元设置在所述参考光传输的光轴上，用于接收并反射所述参考光；所述分束器还用于接收所述反射光和所述参考光，以形成所述反射光和所述参考光的太赫兹干涉光信号；处理模块，用于接收所述太赫兹干涉光信号，并对所述太赫兹干涉光信号进行处理，以获取所述样品的图像信息。 2.根据权利要求1所述的太赫兹近场成像装置，其特征在于，所述处理模块包括：探测器，用于接收并探测所述太赫兹干涉光信号，并将所述太赫兹干涉光信号转换为电信号；处理器，用于接收所述电信号，并对所述电信号进行数字化处理，以获取所述样品的图像信息。 3.根据权利要求1所述的太赫兹近场成像装置，其特征在于，所述探针单元的针尖为金属针尖，且所述金属针尖的半径为10-50纳米。 4.根据权利要求3所述的太赫兹近场成像装置，其特征在于，所述金属针尖与所述样品的距离为纳米量级。 5.根据权利要求1所述的太赫兹近场成像装置，其特征在于，所述装置还包括多个反射镜，设置在所述信号光传输的光轴上，用于改变所述信号光的输出路径，以将所述信号光发射至所述探针单元。 6.根据权利要求2所述的太赫兹近场成像装置，其特征在于，所述装置还包括准直透镜，设置在所述探测器与所述分束器之间，用于对所述太赫兹干涉光信号进行准直处理。 7.根据权利要求1所述的太赫兹近场成像装置，其特征在于，所述装置还包括：样品平台，用于放置所述样品；所述处理模块还与所述样品平台连接，用于控制所述样品平台移动以带动所述样品移动，以使所述信号光发射至所述样品的不同位置。 8.根据权利要求2所述的太赫兹近场成像装置，其特征在于，所述探测器为肖特基二极管。 9.根据权利要求1所述的太赫兹近场成像装置，其特征在于，所述太赫兹光源模块为太赫兹气体激光器或太赫兹量子级联激光器。 10.一种太赫兹近场成像方法，基于太赫兹近场成像装置，所述太赫兹近场成像装置包括：太赫兹光源模块、分束器、反射模块和处理模块；其特征在于，所述方法包括：控制太赫兹光源模块发射太赫兹激光；将所述太赫兹激光分为信号光和参考光；控制反射模块接收所述信号光并将所述信号光发射至样品，以激发所述样品反馈携带样品信息的反射光；接收并反射所述参考光；接收所述反射光和所述参考光，以形成所述反射光和所述参考光的太赫兹干涉光信号；控制处理模块接收所述太赫兹干涉光信号，并对所述太赫兹干涉光信号进行处理，以获取所述样品的图像信息。
所属类别：	发明专利