专利名称: | 悬浮传输装置 |
摘要: | 一种悬浮传输装置,用于对半导体晶片以及液晶玻璃等板状的被传输物品实 施悬浮传输,它包括设置在传输路径下方的风机过滤器单元,该风机过滤单元 向着传输路径上的被传输物品喷射气流,所述的喷射气流不但使得被传输物品 悬浮起来,并且使得被悬浮物品沿着一定方向移动,所述的风机过滤单元还可 以在被传输物品在悬浮移动的过程中,喷出洁净的空气流包围被传输物品。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 苏州安泰空气技术有限公司 |
发明人: | 平泽紘介;周 乐;渡边直树 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2007-03-23T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200710020727.6 |
公开号: | CN101020539 |
代理机构: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 |
代理人: | 孙仿卫 |
分类号: | B65G51/03(2006.01)I |
申请人地址: | 215011江苏省苏州市新区玉山路72号 |
所属类别: | 发明专利 |