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原文传递平面显示器用基板输送装置

专利名称：	平面显示器用基板输送装置
摘要：	本发明涉及一种平板显示器用基板输送装置，其适用于平面显示器基板制造工序的显影工序，且通过使基板显影装置的安装空间最小化来获得最大的空间利用率并能够有效地排出处理室内部气体。所述处理室内设有内部相通的多个支架，所述多个支架相互连接并形成一骨架，所述支架上设有多个孔，并结合有用于排出处理室内气体的排气装置。
专利类型：	发明专利
申请人：	显示器生产服务株式会社
发明人：	吴相泽;李宰一
专利状态：	有效
申请日期：	2007-03-15T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200710088214.9
公开号：	CN101038390
代理机构：	北京金信立方知识产权代理有限公司
代理人：	黄威;徐金伟
分类号：	G02F1/1333(2006.01)I
申请人地址：	韩国京畿道
所属类别：	发明专利